Sia il vapore che la nebulizzazione distribuiscono nell'aria una soluzione di perossido di idrogeno, con l'obiettivo di uccidere i microrganismi sulle superfici esposte, ma la nebulizzazione è una tecnologia nettamente diversa dal vapore. I sistemi di nebulizzazione producono goccioline di aerosol che in genere hanno un diametro compreso tra 8 e 12 micron.
Al contrario, il perossido di idrogeno vaporizzato è un vapore, non influenzato dalla gravità, a differenza delle goccioline liquide aerosolizzate. Ciò influisce sull'uniformità di distribuzione della soluzione, sia nell'aria che sulle superfici.