Prime Wafer

Slurry di lucidatura di wafer di prima qualità

Nalco Water fornisce silice colloidale all'industria dei wafer da decenni e la nostra competenza completa e diversificata ci consente di produrre alcuni degli slurry di lucidatura del silicio di più alta qualità del settore. 

I nostri prodotti a base di silice colloidale altamente stabili offrono purezza eccezionale, dimensione delle particelle controllata, distribuzione e morfologia per performance ottimali nei tuoi processi di lucidatura dei wafer di prima qualità.

Contatti


Progettazione di slurry per lucidatura di wafer per offrire:

Shield with checkmark

Alti tassi di rimozione

 

Gears with arrows

Prestazioni costanti

 

Arrow pointed down in circle.

Bassa difettosità

 

Disinfection Icon
Eccellente finitura superficiale e planarità


Slurry di silice colloidale pronti all'uso per la lucidatura di wafer di silicio

  • Dimensione (nm): 60 
  • pH: 11 
  • Stabilizzante: Na+

  • Dimensione (nm): 60 
  • pH: 8.5 
  • Stabilizzante: Na+

  • Dimensione (nm): 85 
  • pH: 11-12 
  • Stabilizzante: NH4 
  • Note: additivo chelante

  • Dimensione (nm): 85 
  • pH: 11-12 
  • Stabilizzante: NH4 
  • Note: elevato tasso di rimozione del silicio. Pericoloso.

  • Dimensione (nm): 120
  • Superficie m2/gm: 25
  • % solidi: 47
  • pH: 9-10
  • Stabilizzante: K+

Chemical Mechanical Planarization

Affrontare molteplici applicazioni di lucidatura

I nostri slurry a base di silice colloidale sono ampiamente utilizzati per le fasi di lucidatura di base, lucidatura dei bordi e lucidatura finale nella produzione di wafer di silicio e altri substrati semiconduttori per microchip.

Questi impasti semiliquidi vengono utilizzati anche nelle rifiniture di superficie di precisione dell'ottica, dei cristalli da vista e di altri componenti in vetro.

nanoparticelleperlucidatura

Innovazione per le esigenze dei formulatori di slurry per CMP

Nalco Water ha adeguato le proprie capacità produttive di silice colloidale per fornire nanoparticelle innovative e altamente pure, in grado di soddisfare le esigenze dei produttori di slurry per CMP.

  • Nanoparticelle a base di silicato di sodio estremamente pure
  • Ampia gamma di dimensioni delle particelle, granulometrie e concentrazioni
  • Prodotti ingegneristici progettati per garantire stabilità in un'ampia scala di pH
  • Forte collaborazione research-to-research
Core Technologies_550x310.jpg

Nalco Water è leader nel settore della silice colloidale

  • Primo processo di produzione della silice colloidale brevettato nel 1941
  • Uno dei maggiori produttori di silice colloidale a livello globale
  • Team RD&E incentrati sull'innovazione per lo sviluppo di prodotti personalizzati
  • Prodotti progettati per garantire efficienza, qualità e controllo nella produzione
  • Fornitura di valore aggiunto grazie a un design innovativo delle particelle e un supporto di qualità

Contatta i nostri esperti in tecnologie colloidali

Facci sapere come possiamo aiutarti.

* indica un campo obbligatorio

Selezionando "Sì", accetti di essere contattato da Ecolab tramite e-mail con offerte promozionali, aggiornamenti e altre informazioni. Se desideri continuare il tuo rapporto come cliente senza ricevere comunicazioni di marketing, puoi inviare le tue informazioni senza spuntare questa casella.

Sei preoccupato per la privacy dei tuoi dati? Leggi la nostra Informativa sulla privacy.

Fonti

  1. I prodotti sono stati realizzati utilizzando l'approccio ingegneristico LMSII per rimuovere i metalli; [Cu] e [Ni] inferiori a 20 ppb. La disponibilità è soggetta al volume.↵